但在開關分斷操作過程中，在電弧作用、電暈、火花放電和局部放電、高溫等因素下，SF6氣體會進行分解，它的分解遇到水分后會變成腐蝕性電解質，其中有些高毒性分解物，如SF4、S2F2、S2F10、SOF2、HF及SO2，它們會刺激皮膚、粘膜，如果吸入量大，還會引起頭暈和肺氣腫 ，甚至致人死亡。充有SF6氣體的設備大多安裝在室內，空氣流通速度相對較慢，如果SF6氣體一旦泄漏，將在室內沉積不易散發，SF6氣體本身又是無色無味的，泄漏后不易被發覺。另外由于SF6氣體的比重較氧大，往往是沉積于低層空間，容易造成局部缺氧，使人窒息。這樣就會對現場工作人員造成極大的安全隱患。
一方面由于SF6其優異的絕緣、滅弧特性，逐漸使SF6設備被廣泛地應用于高中壓領域，而另一方面，SF6氣體本身對設備、環境，尤其是現場工作人員生命健康安全造成危害的可能性也越來越大。為了確保設備的正常安全運行，充分保障現場人員的身體健康和人身安全，必須采取有效手段對設備區域的SF6氣體泄漏進行監測，防止意外事故發生。